半導(dǎo)體解決方案
Dektak XTL? 探針式輪廓儀
- 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國(guó)
- 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體制造中薄膜厚度、刻蝕形貌測(cè)量；材料研究里分析材料表面粗糙度與微觀結(jié)構(gòu)；在微納加工領(lǐng)域，對(duì)微納結(jié)構(gòu)尺寸、臺(tái)階高度等參數(shù)開展精確測(cè)定
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: Dektak XTL 是一款探針式輪廓儀，可容納達(dá) 350mm×350mm 的樣品，將傳奇的 Dektak 重復(fù)性與再現(xiàn)性帶入大幅面晶圓及面板制造。其具備氣動(dòng)隔振功能與全封閉工作站，搭配易操作的聯(lián)鎖門，適合嚴(yán)苛生產(chǎn)環(huán)境。雙攝像頭架構(gòu)提升空間感知，高度自動(dòng)化極大提高制造產(chǎn)量，能精準(zhǔn)探測(cè)樣品表面輪廓 。
Dektak XTL? 探針式輪廓儀可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)，具有易用的聯(lián)鎖門，是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力，其高自動(dòng)化水平可更大限度地提高測(cè)試通量。
- 適用范圍廣：可容納高達(dá) 350mm×350mm 的樣品
- 環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：具備空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì)
- 自動(dòng)化程度高：能基于參考位置和眾多測(cè)量位置編程，可最大限度提高測(cè)試通量并減少出錯(cuò)
- 空間感知能力優(yōu)：采用雙攝像頭架構(gòu)，雙視場(chǎng)相機(jī)提供高清放大，增強(qiáng)空間感知
- 軟件功能強(qiáng)大：搭載 Vision64 軟件，擁有數(shù)百種內(nèi)置分析工具
- 硬件配置出色：包括單拱形架構(gòu)和集成振動(dòng)隔離系統(tǒng)，確保行業(yè)領(lǐng)先性能