半導(dǎo)體解決方案
InSight WLI白光干涉量測方案
- 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國
- 應(yīng)用領(lǐng)域: 常用于半導(dǎo)體制造，監(jiān)測晶圓表面形貌、測量光刻膠厚度；在光學(xué)元件制造中，檢測表面粗糙度與面形偏差；助力材料科學(xué)研究，探究材料微觀結(jié)構(gòu)與性能關(guān)聯(lián)；也適用于精密機(jī)械加工領(lǐng)域，把控零件表面形貌與尺寸精度 。
- 產(chǎn)品簡介: 該方案集成布魯克先進(jìn)技術(shù)，通過白光干涉原理實現(xiàn)高精度測量。具備一鍵式高級尋找表面功能，搭配自動聚焦與自動照明，大幅提升測量效率。可對各類樣品表面進(jìn)行非接觸式檢測，獲取精確的三維形貌數(shù)據(jù)，垂直分辨率達(dá)亞納米級別，能兼顧微觀表面粗糙度與宏觀幾何尺寸測量 。
全自動的 InSight WLI 系統(tǒng)結(jié)合了卓越的光學(xué)表面測量功能與先進(jìn)的晶圓處理系統(tǒng)，為用戶提供前所未有的測量體驗。該系統(tǒng)專為滿足最為嚴(yán)苛的研發(fā)（R&D）、質(zhì)量保證及工藝質(zhì)量控制的需求而設(shè)計，搭載了專利性的探頭傾斜設(shè)計（tip/tilt head）、獨特的自校準(zhǔn)激光參考（ self-calibrating laser reference）、集成圖案識別功能（pattern recognition）以及其他眾多布魯克獨有的干涉測量技術(shù)。相比于其他量測系統(tǒng)， InSight WLI在非接觸精度、高通量能力和操作便捷性方面遙遙領(lǐng)先，它能夠廣泛應(yīng)用于各種在線生產(chǎn)量測和成像任務(wù)中。